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早期合成高熵氮化薄膜的尝试采用磁控溅射的方法，省内市场在Ar+N2气氛中对高熵合金靶材进行溅射，得到非晶或多相薄膜。结果证实了铜诱导的Jahn-Teller畸变并揭示了它的本质，化交从而揭示了氧亚晶格的结构。

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